汞灯标准光谱是怎么样的?

  DOHO标准光源箱     |      2019-05-22

什么是汞灯标准光谱?汞灯光谱波长范围是多少?下文就为大家简单那的介绍一下汞灯的光谱线波长情况,对汞灯光谱感兴趣的小伙伴,赶快来看看吧!

DOHO对色灯箱

汞灯标准光谱是什么?

利用汞放电时产生汞蒸气获得可见光的电光源。汞灯可分为低压汞灯、高压汞灯和超高压汞灯三种。

汞灯标准光谱横坐标是波长,纵坐标是光幅(强度)。

关于X光,汞灯光谱中包含有X光,但强度已经很小了,达不到应用水平。其实可以看到,KrF,ArF的强度也不大,所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯,而DUV的光刻机用的是准分子激光。实验室中的汞灯一般为线光谱。

汞灯光谱

汞灯光谱波长范围:

蓝光为:

△491.60 强 

△496.03 中

汞灯主要光谱线波长表

颜色 波长/nm 强度 

紫色 △404.66 强 

△407.78 中 

410.81 弱 

433.92 弱 

434.75 中 

△435.84 强 

蓝绿色 △491.60 强 

△496.03 中 

绿色 535.41 弱 

536.51 弱 

△546.07 强 

567.59 弱 

黄色 △576.96 强 

△579.07 强 

585.92 弱 

589.02 弱 

橙色 △607.26 弱 

△612.33 弱 

红色 △623.44 中 

深红色 △671.62 中 

△690.72 中 

708.19 弱

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